Металлические детали

Металлические деталиКитайское название ShowerheadОпылительная головка, газораспределительный диск или равновесный диск

• Конструкция

• микропористая структураПоверхность полупроводника Showerhead покрыта сотнями крошечных сквозных отверстий с апертурой от 0,2 до 6 мм. Размер, распределение, форма и угол впрыска этих микроотверстий точно спроектированы в соответствии с конкретными процессами, чтобы обеспечить равномерное распределение газа в реакционной полости2А.

• Газовый каналВнутри имеется сложная структура газового канала, используемая для наведения и распределения различных газов, так что они могут быть полностью смешаны и равномерно распределены до того, как они достигнут реакционной полости, чтобы соответствовать точным требованиям полупроводникового процесса к потоку и концентрации газа.

• Классификация материалов1

• Металлический Showerhead: Материалы включают алюминиевый сплав, нержавеющую сталь и никелевый металл, из которых алюминиевый сплав является широко используемым материалом Zuiguang, потому что он обладает хорошей теплопроводностью, сильной коррозионной стойкостью, широким источником и легко обрабатывается.

• Неметаллический Showerhead: Материал включает карбид кремния (CVD - SiC), монокристаллический кремний, кварцевое стекло и высокочистую керамику и т. Д. В основном используется в ключевых технологических позициях оборудования для обработки чипов, качество материала и обработанных деталей, особенно согласованность отверстий Jigao.

• Функциональная роль

• Газ равномерно распределяется:: равномерное впрыскивание различных технологических газов на поверхность кристаллической окружности в помещении реакционной полости для обеспечения равномерного « купания» различных областей кристаллической окружности в технологическом газе, что повышает производительность и качество продукции и обеспечивает однородность и согласованность осадочной мембраны2А.

• Участие в химических реакциях:: В таких процессах, как химическое осаждение в газовой фазе (CVD), Showerhead смешивает различные газы - предшественники и впрыскивает их на поверхность подложки, чтобы при определенных условиях они химически реагировали, образуя необходимые пленки, такие как оксиды кремния, поликристаллический кремний, оксиды металлов и т.д.2А.

• Контроль реакционной среды:: Для управления атмосферой и температурой в реакционной камере, обеспечения точной газовой смеси и получения однородного газа в нужном месте, обеспечения равномерного распределения газа в реакционной камере, достижения стабильного процесса осаждения2А.

• Формирование однородного электрического поля:: В плазменных вспомогательных процессах (например, PECVD, сухое травление) Showerhead, как часть электрода, генерирует однородное электрическое поле через радиочастотный источник питания, что способствует равномерному распределению плазмы, тем самым повышая однородность травления или осаждения2А.

  область применения
  

• Процесс травления:: В устройствах для травления Showerhead используется для точного управления потоком и распределением травящего газа и обеспечения точного травления поверхности кристаллического круга для формирования необходимых схем и структур4А.

• Процесс осаждения:: Например, химическое осаждение в газовой фазе (CVD), физическое осаждение в газовой фазе (PVD) и т.д., Showerhead равномерно транспортирует газ - предшественник осадочного материала на поверхность кристаллического круга для достижения роста и осаждения пленки2А.

• Технология очисткиВ устройствах для очистки полупроводников Showerhead может равномерно впрыскивать очищающий раствор или газ на поверхность кристаллического круга, удаляя примеси и загрязняющие вещества с поверхности и обеспечивая чистоту круга.