Контроллер качества и расхода MFC серии P MFC может использоваться как в полупроводниковых процессах передней части, таких как ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP и других устройствах, но также имеет значительный рынок в области фотоэлектрической энергии, вакуумного покрытия и других областях. $r $nMFC эффективно обеспечивает более высокую скорость благодаря точному управлению потоком газа.
Контроллер качества и расходаСерия MFC P
Серия P MFCКонтроллер качества и расходаЭто устройство с высокой производительностью и надежностью в области контроля расхода газа. Ниже приводится описание некоторых его особенностей и применений:Использовать улучшенный одноклапанный + перепад давления + датчик положения для проектирования точности измерения ±. ·% S.P.(��% - ���% F.S.)Скорость отклика < < ms(��% - ���% Ф.С.).
Управление высокой точностью:: Использование передовых технологий датчиков и алгоритмов управления для достижения высокоточного контроля качества газа и расхода, может контролировать ошибки измерения на более низком уровне для удовлетворения различных технологических требований к точности потока2А.
быстрый отклик:: Более короткое время отклика, быстрое реагирование на изменения в параметрах расхода, быстрая настройка расхода газа, обеспечение стабильности и последовательности технологических процессов2А.
Широкий диапазон:: Широкий охват измерений, который может быть применен к различным сценариям применения от крошечного до большого потока, может соответствовать различным требованиям к размеру потока газа для различных процессов2А.
Многогазовая совместимость: Встроенная база данных по нескольким газам, поддерживающая множество различных типов газов, без сложных ручных настроек и преобразований, может легко переключать различные газы для управления потоком2А.
Хорошая адаптация к окружающей среде:: Использование высококачественных материалов и конструкций, с лучшей коррозионной стойкостью и помехоустойчивостью, может стабильно работать в различных условиях окружающей среды, адаптироваться к различным промышленным средам2А.
Удобные операции и связь.:: Оснащен интуитивным операционным интерфейсом, удобным для пользователей в настройке параметров и мониторинге, а также поддерживает несколько протоколов связи, которые легко интегрируются с верхней машиной или другими системами управления для обеспечения удаленной работы и автоматизированного управления.
Производство полупроводников:: В полупроводниковых процессах, таких как травление, химическое осаждение в газовой фазе (CVD), физическое осаждение в газовой фазе (PVD) и других процессах, точный контроль потока различных технологических газов имеет решающее значение для обеспечения качества и последовательности изготовления чипов. Например, в процессе травления осуществляется точный контроль расхода травящего газа, такого как тетрафторуглерод и гексафторид серы, для обеспечения того, чтобы реакция травления осуществлялась с заданной скоростью и в заданном направлении; В процессе CVD поток реакционных газов, таких как силикон и аммиак, точно контролируется для обеспечения соответствия химического состава, толщины и качества осадочной пленки.
Биомедицинские препараты:: в области фармацевтических исследований и разработок, биоферментации и других областях, используемых для точного контроля потока различных газов, таких как контроль доли кислорода, углекислого газа и других газов в процессе культивирования клеток, для создания подходящей среды для роста клеток; В фармацевтическом производстве точное добавление микрореактивных газов также требует высокоточного MFC.
Химическое производство:: В химическом синтезе, тонкой химической промышленности и других процессах, используемых для контроля потока различных реакционных газов и сырьевых газов, обеспечения бесперебойной химической реакции и стабильности качества продукции. Например, в некоторых реакциях органического синтеза поток таких газов, как водород и азот, точно контролируется, чтобы регулировать скорость и избирательность реакции.
Новая энергия:: в области новых источников энергии, таких как производство и испытания топливных элементов, требуется точный контроль потока водорода, кислорода и других газов для обеспечения производительности и стабильности топливных элементов; При производстве солнечных батарей MFC также используется для управления потоком соответствующих технологических газов.
