Категории продукта

Шэньчжэньская компания науки и техники

Электронная почта
13926558058@163.com
Телефон
13926558058
Адрес
Район Баоань, Шэньчжэнь, улица Xisiang, рабочая община Xisiang Avenue и Baoyuan Road, пересечение Центрального проспекта B (офисное здание) 6I

АСвяжитесь сейчас

Контроллер качества и расхода

ДоговариваемыйОбновление на12/13

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Контроллер потока массы V серии MFC - это устройство, используемое для точного контроля потока массы газа, MFC может использоваться как в полупроводниковых процессах передней части, таких как ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP и других устройствах, но также имеет значительный рынок в области фотоэлектрической энергии, вакуумного покрытия и других областях. $r $nMFC эффективно обеспечивает более высокую скорость благодаря точному управлению потоком газа.

Подробности о продукте

Контроллер качества и расходаСерия V MFC

Контроллер качества и расходаСерия MFC серии VG80 - это деталь, используемая для контроля потока массы газа и имеющая следующие характеристики:1А.

Дизайн Dute:: Дизайн dute с использованием « двойного клапана + падение давления + датчик местоположения».
Производительность youyue:: Скорость отклика быстрая, время начала и остановки 100 мс; высокая точность измерения, до ±0,5% S.P.; Измерить ширину диапазона, в 2 - 100% F.S.; Сильные возможности самодиагностики, низкие затраты на обслуживание.

Сценарий применения:MFC может использоваться как в полупроводниковых процессах передней части, таких как ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP и других устройствах, но также имеет значительный рынок в области фотоэлектрической энергии, вакуумного покрытия и других областях.Благодаря точному управлению потоком газа MFC может эффективно обеспечить более высокую скорость.

Эта серия продуктов может широко использоваться в производстве полупроводников в таких технологических устройствах, как etch (травление), CVD (химическое осаждение в газовой фазе), PVD (физическое осаждение в газовой фазе), ALD (атомное осаждение), MOCVD (химическое осаждение в газовой фазе ионов, таких как микроволны), а также в таких областях, как MPCVD (химическое осаждение в газовой фазе ионов, таких как микроволновое излучение), охлаждающая оттаивающая сушка, кварцевая очистка, обработка медицинских отходов.

质量流量控制器

Похожий продукт рекомендовать