Контроллер массы и расхода MFC T серии MFC использует термический датчик + низкотемпературный электромагнитный клапан + технологию датчика давления $r $n для достижения основной точности измерения 1.0% S.P. (25% - 100% F.S.) $r $n Повторяющийся эталонный отраслевой продукт ( 0,2% F.S.)
Контроллер потока качества MFCСерия T MFC
Использование тепловых датчиков + низкотемпературных электромагнитных клапанов + технологии датчиков давленияСоответствует основной точности измерения ± 1,0% S.P. (25% - 100% F.S.) Повторяющийся эталонный отраслевой продукт (± 0,2% F.S.).
принцип термических измерений:: Использование двух температурных датчиков, один для измерения начальной температуры газа, а другой для измерения температуры нагреваемого газа, путем расчета разности температур и в сочетании с удельной теплоемкостью газа, для точного расчета потока массы газа, без компенсации изменения давления и температуры, повышает точность измерения1А.
принцип измерения перепада давления:: Расчет объемного расхода газа путем измерения перепада давления, возникающего при прохождении газа через дроссель, в режиме реального времени с помощью датчика расхода с перепадом давления. Управляющий клапан точно регулирует открытие на основе измерения и обратной связи датчика расхода, чтобы гарантировать, что расход газа через MFC соответствует заданному значению2А.
Высокоточные измерения:: Использование передовых сенсорных технологий и производственных процессов для достижения высокоточного измерения и управления расходом газа, погрешность измерения может быть ниже ±0,5% показаний, повторяемость до ±0,1%, чтобы удовлетворить полупроводниковые и другие области gaoduan для жестких требований к колебаниям потока на наноуровне3А.
быстрый отклик:: Оснащены PID - контроллером и высокоскоростными электромагнитными клапанами, которые могут корректировать отклонения потока в миллисекундном диапазоне времени, время отклика обычно меньше 100 мс, чтобы своевременно реагировать на различные динамические изменения и обеспечивать стабильность потока1А.
Широкий диапазон:: Широкий диапазон охвата, от небольших потоков до сценариев с высокой скоростью потока, например, может охватывать диапазон от 0,1 sccm до 20000 slpm для удовлетворения потребностей различных сценариев применения3А.
Многогазовая совместимость:: Поддержка точных измерений и контроля для различных газов, таких как общие газы, такие как Nnenenebk, Ar, Hneneneed, SiH, NHå, CF и другие, с помощью технологии калибровки с несколькими газами для обеспечения высокой точности при измерении различных газов14А.
Хорошая стабильностьКлючевые компоненты, такие как датчики и нагревательные элементы, обычно используют технологию термостатического управления, чтобы уменьшить влияние температурного дрейфа на точность измерения. В то же время, технология лазерной сварки используется для создания каналов, эффективно избегая утечки, тем самым обеспечивая точность и долгосрочную стабильность результатов измерений1А.
Различные интерфейсы связи:: Оснащен интерфейсом связи RS485, Profibus и другими интерфейсами связи, поддерживает сенсорный экран в режиме реального времени, чтобы отображать температуру, давление, параметры / режим трафика и другие параметры, удобные для пользователей для удаленной работы и мониторинга, может быть интегрирован с различными системами автоматического управления3А.
Производство полупроводников и электроники:: В таких процессах, как обработка кристаллического круга, осаждение тонкой пленки (CVD / PVD) и травление (Etching), точное управление потоком реакционного газа для обеспечения технологической стабильности и производительности чипа.
Химическая и фармацевтическая промышленность:: Для управления потоком газов в реакторе во время химических реакций, таких как O2B, CO2B и т. Д. Оптимизация скорости реакции и качества продукта.
Новые источники энергии и производство топливных элементовРегулирование входного потока водорода и кислорода, оптимизация эффективности электрохимических реакций и выходной мощности батареи, а также может использоваться для управления разделением и потоком кислорода и водорода во время электролиза, а также для управления потоком газа во время улавливания и сжатия углекислого газа.
Экологический мониторинг и лаборатория:: Обеспечить стандартный расход газа для газовой хроматографии (GC), масс - спектрометра (MS) и других устройств, а также может использоваться для точного управления потоком отбора проб газа для оборудования мониторинга окружающей среды, таких как PM2.5, обнаружение VOCs и так далее.
