АТМ - сверхвысоковакуумный двойной вакуумметр

Trigon ™ BPG552ATM - сверхвысоковакуумный двойной вакуумметр

Для диапазона измерений требуется от UHV (5 x 10)-10) Применение к ATM (1000 mbar), Trigon ™ Серия включает в себя двухтехнический вакуумметр BPG552. BPG552 состоит из термоэлектрического датчика Bayard - Alpert и классического, прочного и надежного датчика Пилани. Поддерживаемые двойные нити Bayard - Alpert обеспечивают точность, повторяемость и срок службы.

VacXplor - это модульное пользовательское программное обеспечение, предназначенное для улучшения работы с вакуумметром INFICON Trigon. VacXplor предлагает унифицированный интерфейс, динамическую визуализацию данных и расширенные опции настройки без прав администратора при установке.

Преимущества:

1, Двойной измерительный прибор (2 сенсорных элемента), широкий диапазон измерений, снижение затрат, экономия пространства

2 нитки для системы Bayard - Alpert

Пирани блокирует защиту от преждевременного сжигания нити накаливания

Автоматическое высоковакуумное регулирование Пилани, уменьшение вмешательства оператора

5 Электрическая изоляция электронных элементов, чтобы избежать рассеянного тока

Скользящий режим выбросов, чтобы избежать скачков давления и замораживания при переключении потока выбросов

Мобильный калибровочный чип данных продлевает время выпечки

8. Установить реле с фиксированной точкой

Яркий OLED - дисплей с большим экраном (может вращаться на 90°) с пользовательским интерфейсом

Имитационный выход, последовательный интерфейс RS232C, EtherCAT ® интерфейс

Возможность работы с контроллерами серии VGC50x

Обратная совместимость с BPG402

Соответствие стандартам RoHS

Типичное применение:

• Измерение давления в полупроводниковых процессах

• 2 Промышленное покрытие

• Общее вакуумное измерение и управление системой в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума