Основные технические параметры:
Описание продукции:
ULVAC ei-5zСерия оборудования для высоковакуумного испарительного покрытия представляет собой многофункциональный испарительный стол, который может одновременно устанавливать источники испарения электронного луча и теплового испарения, может использоваться для различных металлов, сплавов, неметаллического испарительного покрытия, может быть выполнен процесс вертикального испарения, может быть выполнена конструкция стенки, с использованием полностью автоматического управления, стабильного и эффективного.
Основные технические параметры:
• базовые пластины Si, GaAs, стеклокерамика и т.д. для различных форм 2 - 8inch;
· Использование низковысотных насосов, которые могут достигать 3,0 * 10 за 20 минут-4Pa, Максимальное давление до3.0 * 10-5Па или ниже*
• Использование электронных лучей или источников теплового испарения, разделяемых щитами;
• толщина мембраны более однородна, чем ±5%;