Ультразвуковой сканирующий микроскоп Nordson Sonoscan AW300
[Профиль продукции]
AWTMСерия продуктов предназначена для разработки полностью автоматизированных систем для обнаружения кристаллических кругов. Подходит для обнаружения и анализа множества связанных кристаллических окружностей (SOI, MEMS, LED, 2.5D и 3D) с высокой чувствительностью и производительностью. Серия AW способна обнаруживать пустоты диаметром менее 5 микрон между двумя чипами и прослойку тонких, как 200 э. У AW есть две или более сканирующих головок, буферный стол и сушильная камера. Он может сканировать два кристаллических круга одновременно и одновременно высушивать кристаллические круги, которые сканируют, тем самым увеличивая производительность.
[Основные особенности)
·Quantitative Dynamic ZTMКоличественная динамическая функция Z - фокусировка на неровных кристаллических кругах
• Стандарт SECS - II / GEM / SEMI 300 ммСовместимость
• Полностью автоматическое обнаружение окружностей от 100 до 300 мм
Водопадные зонды обеспечивают сканирование без погружения
• Ведущие функции анализа изображений в отрасли
Стандартный интерфейс BOLTS для FOUPS, SMIF Pod, FOSB и открытых кристаллических коробок
· Компоненты автономного водоснабжения и вакуумной накачки (варианты)