-
Электронная почта
ryu@ultrablue-sci.com;info@ultrbalue-sci.com
-
Телефон
13331917708
-
Адрес
Новый район Пудун, Шанхай Lingshan Road 1000, дом 3, комната 1019
Категории продукта
Шанхайская фотоэлектрическая компания
система активной виброизоляционной платформы
ДоговариваемыйОбновление на12/14
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Обзор активной виброизоляционной платформы STACIS ® III - это гибкая активная виброизоляционная система. Система активной виброизоляционной платформы STACIS использует усовершенствованные инерциальные вибрационные датчики, усовершенствованные алгоритмы управления и пьезоэлектрические приводы для фильтрации движения земли путем непрерывного измерения активности на земле, а затем расширения и сокращения пьезоэлектрических приводов для устранения вибрации в реальном времени. STACIS**
Подробности о продукте
Обзор активной виброизоляционной платформы
STACIS ® III - это гибкая активная виброизоляционная система. Система активной виброизоляционной платформы STACIS использует усовершенствованные инерциальные вибрационные датчики, усовершенствованные алгоритмы управления и пьезоэлектрические приводы для фильтрации движения земли путем непрерывного измерения активности на земле, а затем расширения и сокращения пьезоэлектрических приводов для устранения вибрации в реальном времени.
Первоначальная конструкция STACIS * *, предназначенная для изоляции прецизионных микролитографических, измерительных и контрольно - измерительных приборов на передовых полупроводниковых заводах, в настоящее время является стандартным отраслевым решением для чувствительных приборов в шумной среде (включая, но не ограничиваясь этим, полупроводниковые заводы, лаборатории анализа отказов, исследования в области нанотехнологий, установки по производству наноматериалов и исследовательские центры материалов).
Система активной виброизоляционной платформы STACIS III включает в себя новый улучшенный цифровой контроллер DC - 2020. Эта новая система управления * * с новыми двухъядерными процессорами, Ethernet и последовательными портами USB на передней и задней панелях предоставляет пользователям современный и простой в использовании графический интерфейс пользователя (GUI). Имея сотни успешных случаев установки по всему миру, STACIS является идеальной виброизоляционной системой для приборов, которые чувствительны к вибрации * *.
Преимущества системы активной виброизоляционной платформы STACIS III
STACIS в сотни раз жестче, чем воздушный виброизолятор, и не имеет никаких ограничений для системы воздушной виброизоляции. Он не имеет « мягкой» подвески и, в отличие от активной воздушной системы, STACIS может быть размещен под инструментом с внутренней активной воздушной виброизоляцией, так что обе системы работают в режиме * *.
Уникальная последовательная конструкция и запатентованная высокоинтенсивная пьезоэлектрическая технология обеспечивают широкополосную активную полосу пропускания 0,6 Гц * * * 150 Гц и активную виброизоляцию * * 90% от 2 Гц.
Особенности системы активной виброизоляционной платформы STACIS III
▪ ** Новый улучшенный цифровой контроллер DC - 2020, обеспечивающий простой в использовании графический интерфейс пользователя
▪ Виброизоляция начинается с 0,6 Гц и достигает коэффициента изоляции 40% * * 70% при 1 Гц
▪ При частоте 2 Гц и выше вертикальная и горизонтальная виброизоляция превышает 90%
▪ Снижение требований к инфраструктуре и затрат на строительство, даже при наличии более мощного внешнего вибрационного оборудования
▪ Эффективный диапазон виброизоляции от 0,6 Гц до 150 Гц
▪ Широкое признание и признание со стороны многих пользователей
▪ 6 Конструкция жесткой установки на степень свободы, без воздушной подвески
▪ Мощная система управления не требует регулярной калибровки
▪ Дизайн point - of - use, совместимый с существующей виброизоляционной системой клиента
▪ По мере изменения внешней среды система автоматически адаптируется к различным внешним вибрациям
▪ TMC Stacis ® активный амортизатор пьезоэлектрического привода
▪ Цифровой контроллер и графический пользовательский интерфейс на базе ПК (GUI)
▪ Улучшить выпуск продукции клиентов, качество, скорость выпуска продукции.
▪ Соответствует стандартам RoHS
▪ ** Ширина полосы активной виброизоляции, * * Низкочастотный виброизоляционный эффект
▪ Активное устранение вибрации на ЯГц * *, виброизоляция в основном в диапазоне 0,6 - 6 Гц
▪ Складной дизайн
▪ Активная жесткая монтажная конструкция, а не мягкая подвеска, отсутствие низкочастотного дрейфа, соединение активного элемента с жесткой пружиной
▪ Пассивная пружина отфильтровывает резонанс нагрузки от датчика STACIS, требует очень мало настроек и даже * * не требует настройки
▪ Из - за несоответствия сопротивлений совместимый внутренний сепаратор прибора
▪ Загрузка до 2000 кг
▪ Активная виброизоляционная система на рынке * *
Свойства активной виброизоляционной платформы
Испытание полезной нагрузки весом 4500 фунтов (2045 кг) с использованием аналоговых вибраций VC - C (500 мкм / с, 12,5 мкм / с RMS)
Спецификации активной виброизоляционной платформы
Технические характеристики
| Активная свобода | 6 |
| Активная полоса пропускания | 0.6 Hz - 150 Hz |
| Пассивная собственная частота | 18 Гц Вертикальные и горизонтальные |
| Эффективная активная резонансная частота | 0.5 Hz |
| Изоляция при 1 Гц | 40% - 70% |
| Виброизоляция при ≥ 2 Гц | 90% |
| 10 фунтов (4,5 кг) Стабильное время после шагового ввода (уменьшение на 10: 1) | 0,3 секунды |
| Внутренний шум | <0.1 nm RMSd> |
| Диапазон рабочих нагрузок каждого виброизолятора | Низкая грузоподъемность: 400 - 1100 фунтов (181 - 499 кг) |
| Средняя грузоподъемность: 900 - 2100 фунтов (408 - 953 кг) | |
| Высокая грузоподъемность: 1900 - 4500 фунтов (862 - 2041 кг) | |
| Жесткость (1000 фунтов / 454 кг массы, виброизолятор средней несущей способности) | 40 000 фунтов / дюйм (73 x 105 коров / м) |
| Магнитное поле, излучаемое с расстояния * * 4 дюйма (102 мм) от виброизолятора | <0.02 μG broadband RMSd> |
Конструкция, размер, окружающая среда и требования к полезности виброизолятора
| Окружающая среда и безопасность | Соответствует стандартам CE и RoHS |
| активный виброизоляционный элемент | * * пьезоэлектрические приводы с малой грузоподъемностью 3300 фунтов (1500 кг) принимают сигналы от усилителей высокого давления с выходом до 800 VDC. полезная нагрузка вертикального привода на виброизоляцию |
| пассивный виброизоляционный элемент | Отдельные твердые изотропные эластомеры (без источника сжатого воздуха) |
| элемент датчика вибрации | Инерционный датчик типа сейсмического детектора вниз для измерения вибрации земли под виброизолятором и обеспечения напряжения, пропорционального скорости движения вибрации |
| активный контур управления обратной связью | Измерение, обработка и затухание земных колебаний под пружинами, поддерживающими виброизоляционную поверхность |
| Размер виброизолятора (ширина x глубина x высота) | 11.75 x 12,5 x 10,8 дюйма 300 x 320 x 275 мм |
| Вес виброизолятора | 75 фунтов (34 кг) |
| Рабочая температура | 50° - 90° F 10° - 32°C |
| Температура хранения | - 40° - 130°F - 40° - 55°C |
| Влажность | 30 - 60% |
| Требования к питанию системы | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Соответствует стандартам CE |
| Наземное смещение | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| Количество виброизоляторов на систему | * * * На 3 меньше |
| Дополнительные вложения | Платформа из ламинированной нержавеющей стали, рама, стояк, устройство выравнивания, сейсмическое устройство, крышка подъема |
Технические характеристики контроллера DC - 2020
| Размер (ширина x глубина x высота) | 19 x 8,5 x 1,75 дюйма 483 x 216 x 45 mm |
| Вес | 6,3 фунта (2,9 кг) |
| Процессор | 150 / 75 МГц Двухъядерное |
| Коэффициент отбора проб | 10 kHz |
| Имитационный вывод | 16 Каналы |
| Имитационный ввод | 16 Каналы |
| Фонарь состояния | Отдельные светодиоды |
| Порт передней панели | Один последовательный USB 2.0 Один последовательный Micro - USB 1 Ethernet RJ - 45 2 БНК |
| Порт задней панели | Один последовательный USB 2.0 1 Ethernet RJ - 45 1 RS - 232 DB - 9 Традиционная последовательность для традиционных виброизоляторов STACIS 2100 |
| Пользовательский интерфейс | ЖК - дисплей передней панели Меню символов на супертерминале Расширенный GUI для Microsoft Windows Встроенный интерфейс Ethernet |
Пользователи и области применения STACIS
1 Микроэлектроника, полупроводник
▪ Обнаружение микросхем
▪ Микроскопическая литография
▪ калибровка маски
2 Научные исследования, нанотехнологии
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3 Лазерная станция
▪ Наука о жизни, разработка лекарств
4 Промышленное применение
▪ Прецизионная обработка
Почему стоит выбрать активную систему изоляции?
▪ Начиная с < 1 Гц, наземная вибрация сильно устраняется, и пневматическая платформа не может эффективно удерживать вибрацию на этой низкой частоте
▪ Повышение качества, объема производства
▪ Более мелкие возможности визуализации.
▪ Передовые исследования
▪ Более стабильная, чем пневматическая платформа.
▪ * * Решения, отвечающие параметрам установки в стандартных местах SEM
▪ Снижение стоимости нового лабораторного и исследовательского оборудования.
Почему выбирают STACIS
▪ В центре внимания исследователей, обеспечивая максимально возможную * * безсейсмическую среду.
▪ * * Сильные низкочастотные виброизоляционные системы на рынке.
▪ В настоящее время все производители SEM публикуют требования к параметрам установки, необходимые вибрационные параметры требуют активной системы виброизоляции для удовлетворения.
▪ STACIS * * был изобретен в 1990 году и получил дальнейшее развитие от TMC, разработав и установив тысячи активных виброизоляционных систем, которые являются надежным решением в области активного управления виброизоляцией.
STACIS в сотни раз жестче, чем пневматический сепаратор
Стабильное время, как ответ на возмущение, значительно сокращается из - за уникальной последовательной конструкции и идеально подходит для механического производства, динамической нагрузки, лазера или источника света, который должен быть установлен на независимом жестком столе.
Следующие преимущества в отрасли * *
▪ Активная виброизоляционная полоса пропускания STACIS 0,6 Гц - 150 Гц
▪ Активная вибрация с 6 степенями свободы устранена, вибрация 8 - 10 дБ при 1 Гц
▪ При 2 - 3 Гц виброизоляция может достигать 90% (20 дБ)
Профессиональные экологические исследования
1. Экологические исследования до и после установки, включая вибрации, магнитные поля, звуковые волны
После установки может быть обеспечена сертификация системы экологической системы
▪ Услуги по экологическим исследованиям
▪ Подготовка профессиональных экологических отчетов
▪ Предоставление вибраций, магнитных полей, акустического обнаружения и решений
▪ TMC рекомендует пользователям практические решения на основе своего обширного опыта
▪ Более 40 лет опыта работы в отрасли * *
Применить фотографии
Похожий продукт рекомендовать
