Активная виброизоляционная платформа STACIS III

ДоговариваемыйОбновление на12/14

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

STACIS III является компактной версией активной системы виброизоляции STACIS III * *. Он обеспечивает такую же отличную виброизоляцию при уменьшенной высоте. STACIS III идеально подходит для использования на подвижном полу без или с очень низким полом, так как стандартная серия STACIS III

Подробности о продукте

Общий обзор

STACIS III является компактной версией активной системы виброизоляции STACIS III * *. Он обеспечивает такую же отличную виброизоляцию при уменьшенной высоте.

STACIS III идеально подходит для использования на подвижном полу без или с очень низким полом, поскольку высота стандартной системы STACIS III делает прибор слишком высоким.

В конфигурации трех сепараторов высота сепаратора составляет менее 60% от обычной высоты STACIS III. В системах с более чем тремя сепараторами высота будет составлять от 60 до 70% в зависимости от параметров полезной нагрузки. Более подробную информацию см. в спецификациях ниже.

Преимущества STACIS III

По сравнению с обычной системой STACIS III высота сепаратора * * на 42% ниже, а производительность не снижается.

STACIS в сотни раз прочнее, чем воздушный виброизолятор, и не имеет никаких ограничений для системы воздушного виброизоляции. Он не имеет « мягкой» подвески и, в отличие от активной воздушной системы, STACIS может быть размещен под инструментом с внутренней активной воздушной виброизоляцией, так что обе системы работают в режиме * *.

Уникальный последовательный дизайн и эксклюзивные высокомощные пьезоэлектрические технологии

Обеспечивает широкую активную полосу пропускания от 0,6 Гц до 150 Гц и 90% * * активную виброизоляцию от 2 Гц.

Свойства

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

Технические характеристики

Спецификация

Активная свобода	6
Активная полоса пропускания	0.6 Hz - 150 Hz
Пассивная собственная частота	18 Гц Вертикальные и горизонтальные
Эффективная активная резонансная частота	0.5 Hz
Изоляция при 1 Гц	40% - 70%
Виброизоляция при ≥ 2 Гц	90%
Стабильное время после шагового ввода 10 фунтов (4,5 кг) (Сокращение 10: 1)	0,3 секунды
Внутренний шум	<0.1 nm RMSd>
Диапазон рабочих нагрузок каждого виброизолятора	Низкая грузоподъемность: 400 - 1100 фунтов (181 - 499 кг) Средняя грузоподъемность: 900 - 2100 фунтов (408 - 953 кг) Высокая грузоподъемность: 1900 - 4500 фунтов (862 - 2041 кг)
Жесткость (1000 фунтов / 454 кг массы, виброизолятор средней несущей способности)	40 000 фунтов на дюйм (73 x 10)⁵Корова / м)
Магнитное поле, излучаемое с расстояния * * 4 дюйма (102 мм) от виброизолятора	<0.02 μG broadband RMSd>

Конструкция, размер, окружающая среда и требования к полезности виброизолятора

Окружающая среда и безопасность	Соответствует стандартам CE и RoHS
активный виброизоляционный элемент	* * пьезоэлектрические приводы с малой грузоподъемностью 3300 фунтов (1500 кг) принимают сигналы от усилителей высокого давления с выходом до 800 VDC. полезная нагрузка вертикального привода на виброизоляцию
пассивный виброизоляционный элемент	Отдельные твердые изотропные эластомеры (без источника сжатого воздуха)
элемент датчика вибрации	Инерционный датчик типа сейсмического детектора вниз для измерения вибрации земли под виброизолятором и обеспечения напряжения, пропорционального скорости движения вибрации
активный контур управления обратной связью	Измерение, обработка и затухание земных колебаний под пружинами, поддерживающими виброизоляционную поверхность
Размер виброизолятора (ширина x глубина x высота)	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
Вес виброизолятора	53 фунта (24 кг)
Рабочая температура	50° - 90° F 10° - 32°C
Температура хранения	- 40° - 130°F - 40° - 55°C
Влажность	30 - 60%
Требования к питанию системы	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Соответствует стандартам CE
Наземное смещение	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
Количество виброизоляторов на систему	Не менее трех.
Дополнительные вложения	Платформа из ламинированной нержавеющей стали, рама, стояк, устройство выравнивания, сейсмическое устройство, крышка подъема

Технические характеристики контроллера DC - 2020

Размер (ширина x глубина x высота)	19 x 8,5 x 1,75 дюйма 483 x 216 x 45 mm
Вес	6,3 фунта (2,9 кг)
Процессор	150 / 75 МГц Двухъядерное
Коэффициент отбора проб	10 kHz
Имитационный вывод	16 Каналы
Имитационный ввод	16 Каналы
Фонарь состояния	Отдельные светодиоды
Порт передней панели	Один последовательный USB 2.0 Один последовательный Micro - USB 1 Ethernet RJ - 45 2 БНК
Порт задней панели	Один последовательный USB 2.0 1 Ethernet RJ - 45 1 RS - 232 DB - 9 Традиционная последовательность для традиционных виброизоляторов STACIS 2100
Пользовательский интерфейс	ЖК - дисплей передней панели Меню символов на супертерминале Расширенный GUI для Microsoft Windows Встроенный интерфейс Ethernet

Пользователи и области применения STACIS
1 Микроэлектроника, полупроводник
▪ Обнаружение микросхем
▪ Микроскопическая литография
▪ калибровка маски
2 Научные исследования, нанотехнологии
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3 Лазерная станция
▪ Наука о жизни, разработка лекарств
4 Промышленное применение
▪ Прецизионная обработка

Почему выбирают активную систему?
▪ Начиная с < 1 Гц, наземная вибрация сильно устраняется, и пневматическая платформа не может эффективно удерживать вибрацию на этой низкой частоте
▪ Повышение качества, объема производства
▪ Более мелкие возможности визуализации.
▪ Передовые исследования
▪ Более стабильная, чем пневматическая платформа.
▪ * * Решения, отвечающие параметрам установки в стандартных местах SEM
▪ Снижение стоимости нового лабораторного и исследовательского оборудования.

Почему система выбирает STACIS
▪ В центре внимания исследователей, обеспечивая максимально возможную * * безсейсмическую среду.
▪ * * Сильные низкочастотные виброизоляционные системы на рынке.
▪ В настоящее время все производители SEM публикуют требования к параметрам установки, необходимые вибрационные параметры требуют активной системы виброизоляции для удовлетворения.
▪ STACIS * * был изобретен в 1990 году и получил дальнейшее развитие от TMC, разработав и установив тысячи активных виброизоляционных систем, которые являются надежным решением в области активного управления виброизоляцией.

STACIS на несколько сотен жестче, чем пневматический сепаратор.Б
Стабильное время, как ответ на возмущение, значительно сокращается из - за уникальной последовательной конструкции и идеально подходит для механического производства, динамической нагрузки, лазера или источника света, который должен быть установлен на независимом жестком столе.

Следующие преимущества в отрасли * *
▪ Активная виброизоляционная полоса пропускания STACIS 0,6 Гц - 150 Гц
▪ Активная вибрация с 6 степенями свободы устранена, вибрация 8 - 10 дБ при 1 Гц
▪ При 2 - 3 Гц виброизоляция может достигать 90% (20 дБ)

Профессиональные экологические исследования
1. Экологические исследования до и после установки, включая вибрации, магнитные поля, звуковые волны
После установки может быть обеспечена сертификация системы экологической системы
▪ Услуги по экологическим исследованиям
▪ Подготовка профессиональных экологических отчетов
▪ Предоставление вибраций, магнитных полей, акустического обнаружения и решений
▪ TMC рекомендует пользователям практические решения на основе своего обширного опыта
▪ Более 40 лет опыта работы в отрасли * *

Применить фотографии

Похожий продукт рекомендовать