Металлические уплотняющие пьезоэлектрические приводы серии VH13

Металлические уплотняющие пьезоэлектрические приводы серии VH13 обеспечивают одномерное Z - направленное смещение с двумя вариантами хода 42 мкм и 46 мкм. Изоляция от атмосферы оказывает гораздо меньшее влияние на влажность окружающей среды. Более длительный срок службы и более высокая производительность для использования в различных приложениях, таких как оборудование для изготовления полупроводниковых устройств и оборудование оптической связи, требующее высокой надежности.