расходомер регулятора массы и расхода

расходомер регулятора массы и расхода

Руководство по использованию контроллера потока массы и расходомера массы 1. Знакомьтесь, уважаемые пользователи, спасибо за покупку нашей компании D07 серии контроллеров качества / расходомеров качества. В этом руководстве подробно рассматриваются вопросы, необходимые для правильного и безопасного использования этой серии продуктов. Пользователи продукта, пожалуйста, внимательно ознакомьтесь с этим руководством и поймите его использование, в процессе использования обратите внимание на текст с логотипом и все, что содержится в примечаниях. Компания имеет право не нести ответственности за ущерб имуществу или телесные повреждения, причиненные в результате неиспользования в соответствии с Руководством по использованию. При установке, обслуживании и ремонте неисправностей в этом руководстве, пожалуйста, сохраните их на хранение. Использование и характеристики расходомера массы (Mass Flow Meter, сокращенно MFM) для точного измерения потока массы газа; Контроллер потока массы (Mass Flow Controller, сокращенно MFC) используется для точного измерения и контроля потока массы газа. Они имеют важное применение в научных исследованиях и производстве в различных областях, таких как полупроводниковая микроэлектроника, разработка специальных материалов, химическая промышленность, нефтяная промышленность, медицина, охрана окружающей среды и вакуум. Его типичные случаи применения включают: электронные технологические устройства, такие как диффузия, окисление, экстенсивность, CVD、 Плазменное травление, распыление, ионная имплантация; а также оборудование для вакуумного покрытия, волоконно - оптическая плавка, микрореактивные установки, газораспределительная система смешивания, капиллярные измерения, газовая хроматография и другие аналитические приборы. Контроллеры потока массы и расходомеры массы серии D07 имеют характеристики высокой точности, хорошей повторяемости, быстрой реакции, мягкого запуска, стабильного и надежного, широкого диапазона рабочего давления и т. Д. (Они могут работать в условиях высокого давления или вакуума), их удобно использовать, могут быть установлены в любом месте и легко подключены к компьютеру для достижения автоматического управления. Контроллеры потока качества и расходомеры качества серии D07 обычно используются в комплекте с такими продуктами, как датчики потока серии D08, соединенные специальными кабелями между контроллерами и дисплеями

расходомер регулятора массы и расхода

3. Таблица 1 основных технических показателей. D07 - 19B MFC индикатор производительности Номер проекта D07 - 19B1 спецификация потока (0 ~ 5,10,20, 30, 50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2, 3,5, 10, 20,30) SLM2 Точность ± 1% F.S. (20,30SLM: ± 2% F.S.) 3 линейный ±0,5% F.S. SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 Максимальное рабочее давление 1 Mpa8 Давление 3 MPA (435,1 psig) 9 Рабочая температура окружающей среды 5 ° C ~ 45 ° C 10 ВВ ~ + 5,00 В (входное сопротивление более 100 К, выходной ток не более 3 мА) 11 Источник питания + 15 В 50 мА; Размер формы - 15V 200 мА12 см. Рисунок 413 Вес 0,95 кг Примечание: расходомер массы и контроллер потока массы обычно маркируются азотом (N2). Единицей потока массы является: SCCM (стандартный мл / мин.); Стандартное состояние SLM (стандартный л / мин) определяется как: температура - 273,15K (0°C); Давление воздуха - 101325 Па (760 мм Hg) в семизвездочном расходомере MFC / MFM Продуктовый центр, единица SCCM и "mL / min, 0°C, 1atm" эквивалентны, единица SLM и "L / min, 0°C, 1atm" эквивалентны. Страница 4 из 28 F.S. (Full Scale): Полная таблица значений диапазона 2. D07 - 19BM MFM индикатор производительности Номер проекта D07 - 19BM1 спецификация потока (0 ~ 5,10, 20, 30, 50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2, 3,5, 10, 20, 30) SLM2 точность ± 1% F.S. (20,30 SLM: ±2% F.S.) 3 линейный ± 0,5% F.S. MPA (1450.4 psig) 9 Рабочая температура окружающей среды 5°C ~ 45°C 10 Выходной сигнал 0 V ~ + 5.00 V (входное сопротивление более 100K, выходной ток не более 3 мА) 11 Электрический + 15 V 50 mA - 15 V 50 mA12 Фигурный дюйм См. рисунок 413 вес 0,7 кг Основные технические показатели для каждой модели продукции показаны в таблицах 1 и 2. Тип D07 - 19BM является частью измерения расхода D07 - 19B, и MFM того же типа имеет те же технические показатели, что и MFC в разделе измерения расхода. 4.1 Структура и принцип работы 4.1 Структурный расходомер массы состоит из таких компонентов, как датчики расхода, каналы шунта и схемы усиления расхода; На основе расходомера массы, в сочетании с регулирующим клапаном и схемой управления PID, образуется контроллер потока массы. Контроллер потока массы типа D07 - 19B, структура которого после открытия крышки показана на рисунке 2.