В производстве микроэлектроники, фотолитографии, аэрокосмической промышленности и других промышленных областях точность является основным ключом к определению успеха или неудачи продукта. Отклонения точности ниже миллиметра часто означают списание целых партий продукции, простои оборудования или даже задержки проекта.

I. Боль отрасли

Традиционные устройства обратной связи местоположения, такие как стальная ленточная линейка или стеклянная решетка, ограничены тепловым расширением материала, ошибками установки и экологическими помехами, трудно удовлетворить текущие сверхточные требования к стабильности, разрешению и антиинтерференционной способности:

Во - первых, точность измерения не может удовлетворить потребности в нано - обработке, что приводит к резкому снижению хорошей скорости продукта;

Во - вторых, измерительное оборудование и производственная среда плохо адаптируются, хост - охлаждение, ограничение пространства установки влияет на стабильность измерения;

В - третьих, в сценарии измерения с несколькими степенями свободы традиционному оборудованию трудно сбалансировать эффективность и точность и замедлить темпы производства.

Это не только технические проблемы, но и системные проблемы, которые влияют на производительность, эффективность производства и надежность оборудования, а волоконно - оптические лазерные линейки являются высокоточными измерительными решениями, созданными для решения болевых точек в этих отраслях.

Оптово - волоконная лазерная линейка: решение для определения точности на системном уровне

Волоконно - оптическая лазерная линейка PLR3000, основанная на принципе лазерной интерферометрии, передает гелий - неоновый лазер через волоконно - оптическое волокно, удерживающее смещение, в интерферометрический зонд с точностью стабилизации частоты до 0,02 ppm, что означает, что на расстоянии измерения 1 м ошибка колебания частоты составляет всего 0,02 микрона, что намного лучше, чем традиционные измерительные инструменты. Достигнута бесконтактная, высокоразрешающая, многоканальная обратная связь местоположения. В то же время точность линейного измерения составляет 0,2 ~ 0,5 ppm, в качестве примера возьмем модель PLR3200 PRO 0,2 ppm, максимальная ошибка измерения 4 - метрового диапазона составляет всего 0,8 микрона, что соответствует требованиям точности наноуровня для позиционирования кристаллического круга в фотолитографии чипа.

Что еще более важно, оборудование использует лазерную пусковую установку и интерферометрический зонд для разделения конструкции, через 3 - метровое бронированное волоконно - оптическое соединение, может не только удалить хост от источника тепла линии производства, избежать помех измерительного пути изменения температуры, но и гибко адаптировать узкое пространство установки, уменьшить ошибку Аббе, решить дилемму « точности и экологической адаптации».

Но его основная ценность заключается не в измерениях, а в создании стабильной и надежной системы координат местоположения.

III. Ключевые технологические преимущества

1, 0,02 ppm Стабильная частотная точность: устранение дрейфа частоты из источника для обеспечения долгосрочной стабильности;

Разрешение 10 нм: поддержка управления движением на уровне микрон или даже субмикрон;

3, многозондовая конфигурация: поддержка различных оптических структур, таких как угловая призма, плоское зеркало, дифференциальная интерференция, адаптация к различным сценам, таким как зеркало, линейная ось, вращающаяся платформа и т.д.;

4. Компенсационный элемент окружающей среды: мониторинг температуры и влажности в режиме реального времени, давление воздуха, автоматическая коррекция влияния скорости преломления воздуха, чтобы гарантировать, что измеренные данные реальны и надежны;

5. Конструкция разделения узла и зонда: Благодаря бронированному волоконно - оптическому соединению лазер может быть удален от источника тепла и вибрации, чтобы уменьшить системные помехи.

Типичный сценарий применения и ценность программы

Сценарий 1: Многоградусное позиционирование рабочего стола фоторезиста

Трехосный синхронный выход, в сочетании с дифференциальным интерферометром, может обеспечить управление нанометровым замкнутым контуром рабочего стола, повысить точность резьбы и пропускную способность устройства.

Сценарий 2: Дополнение прецизионного станка и управление обратной связью

Устанавливая плоский зеркальный интерферометр, положение головки ножа обратной связи в реальном времени, в сочетании с функцией компенсации окружающей среды, может поддерживать линейную точность ± 0,5 ppm даже в условиях больших колебаний температуры в цехе.

Сценарий 3: Воздушно - космическая сфера

При обработке крупногабаритных компонентов необходимо учитывать как измерения на большие расстояния, так и измерения с несколькими степенями свободы, выбрать интерферометрический зонд с угловой призмой (максимальный диапазон 4 м, максимальная скорость 2 м / с), в сочетании с интегрированным элементом компенсации окружающей среды, может автоматически контролировать температуру, давление воздуха, влажность и корректировать скорость лазерного преломления в реальном времени, даже при колебаниях среды между автомобилями, может обеспечить точность измерения

С углублением Индустрии 4.0 и интеллектуального производства технология измерения также должна быть обновлена одновременно. Волоконно - оптическая лазерная линейка не только удовлетворяет текущие потребности в измерениях на наноуровне, но и имеет масштабируемость - диапазон PLR3000 может превышать 4 м, разрешение может быть дополнительно улучшено за счет внешнего расширения, чтобы зарезервировать пространство для более точных производственных сценариев в будущем. В то же время, его многоканальный выход и индивидуальный дизайн зонда могут быть интегрированы с глубиной автоматизированной производственной линии, чтобы помочь предприятиям реализовать замкнутое управление « измерение - обратная связь - корректировка», чтобы продвигать производственный процесс к интеллектуальной трансформации. Для производственных предприятий, которые сталкиваются с узким местом точности, выбор подходящих измерительных инструментов является ключевым шагом в прорыве развития.