матричный эллипсометр Мюллера

ДоговариваемыйОбновление на03/16

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Матрический эллипсометр ME - L Мюллера I, описание продукта: 1, сверхширокий спектральный диапазон: комбинированный источник света с использованием дейтериевых и галогенных ламп

Подробности о продукте

матричный эллипсометр Мюллера ME - L

I. Презентация продукции:

Сверхширокий спектральный диапазон: комбинированный источник света с использованием дейтериевых и галогенных ламп, спектральный охват от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона (380 - 1000нм) поддерживает расширение до 200 - 1650нм

Модуляция двойного компенсатора вращения: высокоточное управление синхронизацией вращения и запуска для достижения высокоскоростного сбора спектральных данных

Матрические измерения Мюллера: 16 элементов матрицы Мюллера могут быть получены одновременно на основе конфигурации двойного вращающегося компенсатора, что позволяет получить более полную информацию измерений по сравнению с традиционными спектральными эллипсоидами

Дизайн компенсации суперахроматической аберрации: запатентованная технология компенсатора, адаптированная к требованиям высокоточной фазовой модуляции в широком спектральном диапазоне от глубокого ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона

Богатые базы данных материалов и алгоритмические модели: сотни баз данных материалов, множество библиотек алгоритмических моделей, охватывающих подавляющее большинство современных оптических материалов

Мастер интерактивного интерфейса: Мастер программного обеспечения Интерактивная работа человеко - машинного интерфейса для предоставления пользователям высококачественного опыта работы

7. Возможности нанорастрового анализа: усовершенствованная аналитическая алгоритмическая модель для получения геометрической и морфологической информации, такой как различные периоды структуры нанорастра, ширина линии, высота линии, угол боковой стенки, шероховатость

II. Технические параметры:

Основные функции	Одноразовое получение спектров, таких как матрица Мюллера, Psi / Delta, N / C / S, R / T и т.д.
Спектральный диапазон	380 - 1000 нм (210 - 1650 нм необязательно)
Время измерения	1-8s
Диапазон углов падения	45 - 90°
Размер пятна	2-3mm/200um
Точность повторения	0005 нм (100 нмSiO2 кремниевые пластины)
Абсолютная точность (Воздушная среда)	Эллиптический параметр: Сай = 45 ± 0,05 ° дельта = 0 ± 0,01 °
Абсолютная точность (Воздушная среда)	Матрица Мюллера: диагональный элемент m = 1 ± 0005, а не диагональный элемент m = 0 ± 0005
Аналитическое программное обеспечение	До сотни библиотек оптических материалов, поддерживающих пользовательские настройки
Аналитическое программное обеспечение	Функции моделирования и анализа многослойной изотропной / гетерогенной оптической пленки, периодической растровой структуры

Похожий продукт рекомендовать