WafIR ™ Измерение круга ATR

WafIR™определение кристаллической окружностиАТР

WafIR™ Это уровень.АТРАксессуары для анализа однослойных и других тонких покрытий, накладываемых на сторону двухстороннего полированного чипа. У него есть45Кристаллы кремния под углом падения могут связывать свет внутри и снаружи чипа.WafIRВключает в себя нагнетатель давления с подушкой давления, предназначенный для достижения * хорошего контакта на * небольшой контактной площади, которая находится за пределами измеренной области. Давление включает в себя скользящую муфту, которая ограничивает общую силу, наложенную на образец, и совместима с крутящим ключом для достижения повторяемости.WafIRПолностью закрыта для быстрой очистки, с большинствомFTIRСпектрометры совместимы.

Характеристики

Доступная горизонтальная поверхность для отбора проб может вмещать диаметр от52 х 10 ммдо203 мм（8дюймов) чипов.

Методы бесконтактного отбора проб; Контакт со связанными кристаллами находится вне зоны измерения.

Благодаря многократному отражению чувствительность высокая.

для0.770Микросхема толщиной в миллиметр, поставляемая с поверхности покрытия33Субрефлексы.

фиксированный45° Угол падения.

Можно заменить кристаллы с кремниевой связью.

Встроенная скользящая муфта ограничивает общую силу, приложенную к образцу.

Уникальный компрессор с прокладкой минимизирует контакт с образцом.

Легко выровнять и использовать.

ПермаPurge™ Образцы могут быть быстро заменены без прерывания очистки.

включая

кристаллический с кремниевой связьюWafIRА.

Укажите вспомогательное оборудование спектрометра.