Многоосная измерительная оптическая лазерная линейка

Средний прибор PLR3000Многоосная измерительная оптическая лазерная линейкаОсновываясь на принципе лазерной интерферометрии, разрешение до 10 нм, линейная точность до 0,2 ppm, в микроэлектронике, микромеханике, микрооптике и других современных высокотехнологичных областях сверхточной обработки и производства, фотолитографии и аэрокосмической промышленности, чтобы обеспечить точную и надежную обратную связь и управление местоположением.

I. Основные функции продукта

Выход сигнала нанометрового уровня: 10 нм с высоким разрешением (поддержка внешнего расширения), двойной выход ортогонального цифрового / Vpp положительного косинусного сигнала, адаптируемый к различным типам контроллеров;

2. Всеэкологическая адаптация: интегрированные экологические метеорологические станции, компенсирующие в режиме реального времени влияние экологических параметров на измерения, данные являются надежными в долгосрочной перспективе;

3. Гибкая конструкция установки: лазерный хост отделен от зонда, 3m бронированное волоконно - оптическое соединение, вдали от помех источника тепла, небольшое пространство также может быть легко установлено;

Поддержка многомерных измерений: одноосная / двухосная / трехосная свободная конфигурация с несколькими интерферометрическими зондами, легкая реализация многомерного измерения свободы;

5. Режим двойного использования: как независимое измерение в качестве лазерного интерферометра, так и доступ к системе для обеспечения управления обратной связью в замкнутом положении;

II. Особенности продукции

Сверхвысокая точность: линейная точность с разрешением 10 нм + 0.2 ppm для удовлетворения потребностей в измерениях на наноуровне, для устранения дефекта продукта, вызванного ошибкой обработки;

2. Адаптация к сложным условиям: конструкция изоляции источника тепла + компенсация окружающей среды в режиме реального времени, изменение температуры / давления воздуха / влажности не влияет на стабильность данных;

3. Высокая эффективность и низкая стоимость: многоосное синхронное измерение + быстрая установка коллимации, сокращение времени ввода в эксплуатацию оборудования, повышение эффективности потока производственной линии;

4. Многосценная адаптация: 4m можно масштабировать на большие расстояния, динамическая скорость поддерживает 2 м / с, покрывает статическое обнаружение всей сцены высокоскоростного движения;

III. Преимущества продукции

1. Традиционная схема точной прокатки: по сравнению со стальной линейкой / стеклянной решеткой, сетка более точна, разрешение выше, технология компенсации окружающей среды для дальнейшего обеспечения стабильности данных;

2. Индивидуальная адаптивная способность: поддержка масштабирования, выбор зонда, многоканальный выход, индивидуальный план в соответствии с производственной сценой клиента;

3. Свойства снижения эффективности: малый размер уменьшает ошибку Аббе, быстрая установка уменьшает затраты на ввод в эксплуатацию, динамическая измерительная способность приспосабливается к высокоскоростной производственной линии;

4. Надежная гарантия полного цикла: сертификация лазерной калибровки плюс, данные могут быть прослежены, чтобы соответствовать требованиям соответствия промышленного производства;

IV. ПРИМЕНЕНИЕ ПРОДУКТА

1. Производство полупроводников: точное позиционирование кристаллической окружности фоторезиста, обратная связь с замкнутым контуром прецизионной детали, повышение хорошей скорости изготовления вспомогательных чипов;

2. Аэрокосмическая промышленность: обнаружение деформации лопастей двигателя, высокоточная калибровка сборки, обеспечение надежности основных компонентов;

3. прецизионная обработка: обратная связь с положением многоосной связи станков с ЧПУ, измерение микромеханических элементов, повышение точности и эффективности обработки;

4. Область научных исследований: мониторинг стабильности оптической платформы, управление сверхточным экспериментальным оборудованием, поддержка точности данных передовых исследований;

V. Услуги и поддержка

1. Индивидуальный вариант: PLR3000Многоосная измерительная оптическая лазерная линейкаВ соответствии с потребностями, чтобы обеспечить конфигурацию зонда, расширение диапазона, блок компенсации окружающей среды и другие гибкие варианты.

2. Профессиональная сертификация: Предоставление сертификата лазерной калибровки для обеспечения достоверности данных.

3. Глобальная сеть обслуживания: 1 год гарантии качества, команда технической поддержки 7 × 24 часа реагирования, быстрое решение проблем на месте.

Примечание: Параметры продукта будут постоянно оптимизироваться в соответствии с технической итерацией, поэтому информация о продукте может быть обновлена или изменена в любое время в соответствии с реальной ситуацией, без дальнейшего уведомления, неудобства, пожалуйста, поймите.

Для получения информации о конкретных отраслевых случаях, деталях параметров или политике сотрудничества, пожалуйста, свяжитесь в любое время, и мы предоставим вам индивидуальные услуги в первый раз!