Американский источник ионов KRI Holl eH 1000

ДоговариваемыйОбновление на07/20

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Shanghai Budong от имени д - ра Кауфмана США создал KRI Holl ионный источник eH 1000 высокоэффективное использование газа, недорогой дизайн обеспечивает высокоионный ток, особенно для средних вакуумных систем. Это бессеточный источник ионов. Обычно используется для ионного покрытия, предварительной очистки и низкоэнергетического ионного травления. Размер: диаметр = 5.7 Высота = 5.5 разрядное напряжение / ток: 50 - 300В / 10А Эксплуатационный газ: Ar, Xe, Kr, O2, N2, Органический прекурсор

Подробности о продукте

Особенности американского источника ионов KRI Holl eH 1000:

БодонKRIисточник ионов ХоллаeH 1000ОсобенностиА.

1.Съемный анодный блок- Да.Легко поддерживается*Время обслуживания,Минимизировать время простоя*резервный анод

2.Широколучевой ток высокого разряда- Да.Высокая плотность тока*Равномерная скорость травления*Высокая эффективность травления*высокоионное вспомогательное покрытиеIADЭффективность

3.Многоцелевые- Да.Применяется кLoad lock /сверхвысокая вакуумная система*Удобно установить*Водяное охлаждение не требуется

4.Эффективное преобразование плазмы и стабильное управление мощностью

Похожий продукт рекомендовать