Американский источник ионов KRI Holl Gridless eH

Серия eH ионного источника KRI Holl компании Kaufman, созданная д - ром Кауфманом, исполняющим обязанности Бодуна в Шанхае, относится к широкомасштабному ионному источнику с углом рассеяния 45. Поток газа из ионного источника Холла может быть выбран на разных уровнях, таких как 2 - 25 sccm / 2 - 50 sccm / 2 - 50 sccm / 2 - 75 sccm / 5 - 100 sccm. Электрический ток источника ионов Холла может быть выбран 5A / 10A / 12A / 15A / 20A и т.д. Высокая концентрация источника ионов Холла повышает скорость осаждения покрытия, низкая кинетическая энергия уменьшает ионную бомбардировку поврежденной поверхности, широкополосная конструкция эффективно увеличивает пропускную способность и покрывает зону осаждения. В целом легко работать, легко обслуживать. Ионный источник Холла eH предлагает полный набор схем, включающих ионный источник, электронный нейтрализатор, источник питания, контроллер потока MFC и так далее.