безграфическая система измерения толщины кристаллической окружности

Средний прибор WD4000безграфическая система измерения толщины кристаллической окружности1 устройство для обработки толщины, трехмерной формы, шероховатости измерения всех параметров, прощаясь с многопользовательским громоздким сотрудничеством, принимая во внимание высокую точность и высокую эффективность, адаптируясь к требованиям многоотраслевого сверхточного обнаружения.

I. Преимущества продукции

1 Высокоточные измерения, данные надежны

(1) Спектральная конфокальная эмиссионная технология + интерферометрия белого света, Z - направленное разрешение до 0,1 нм, субнанометровое измерение локальной высоты для удовлетворения потребностей в обнаружении деталей от нано до микрон.

(2) Поддерживает оценку более 300 параметров по четырем основным стандартам SEMI / ISO / ASME / EUR / GBT, результаты измерений отслеживаются.

2. Высокоскоростной большой маршрут, подходящий для многопрофильных деталей

(1) 400x400x75 мм крупноходовая конструкция козловой двери, максимальная скорость движения 500 мм / с, эффективность обнаружения удваивается.

(2) Совместим с максимальной 12 - дюймовой кристаллической окружностью, с вакуумным присосом для электростатического разрядного покрытия, подходит для гладких / грубых, низких / высоких отражательных и других поверхностных деталей.

3, Стабильная антиинтерференция, работа без беспокойства

(1) Гранитный фундамент + конструкция виброизоляции, чтобы противостоять наземным и акустическим колебаниям, измерение повторяемости превосходно.

(2) Двойное предотвращение столкновений + переключение электрического объектива + ручка управления XYZ, упрощающая рабочий процесс, снижая риск неправильной работы и снижая затраты на обучение.

Интеллектуальная автоматизация, адаптация к промышленным конвейерам

(1) Mapping следует за технологией + позиционирование точки Mark в машинном зрении, поддерживает многоточечное, линейное и поверхностное автоматическое измерение, режим CNC совместим с вводом сканирующей пушки.

(2) Виртуальное приспособление для размещения образцов, может обеспечить многоточечное непрерывное автоматизированное обнаружение формы, подходящее для сцены массового производства.

II. Основные функции

1. бесконтактное измерение: избегайте царапин на поверхности прецизионных деталей, таких как карбид кремния, сапфир, кремний и т. Д., Чтобы защитить целостность объекта, подлежащего измерению.

2. Интегрированный дизайн: без переключения нескольких устройств, синхронизация для завершения толщины, TTV、LTV、BOW、WARP、 Измерения шероховатости и трехмерной морфологии, экономия места и затрат на ввод.

3. Функциональное программное обеспечение для измерения Управление данными + анализ + стыковка для полного процесса:

(1) Полнофункциональные измерения и анализ

(1) Покрыть основные потребности измерения толщины, трехмерной формы, шероховатости, геометрических контуров и т. Д. Поддерживать высоту ступени, угол, кривизну и другие характерные измерения и оценку допусков на положение формы.

2) Встроенные пять основных аналитических модулей, включая стандартный анализ всех параметров шероховатости ISO, статистику объема отверстий, частотный анализ и т. Д. Для удовлетворения потребностей в обнаружении глубины.

(2) Эффективное управление данными

(1) Централизованное управление записями измерений, поддержка многомерных запросов по типу детали, дате обнаружения, идентификационному коду и т. Д. Отслеживание удобно.

Поддерживает TXT - отчеты, импортирующие биты точек, подлежащих измерению, без ручного ввода для повышения эффективности обнаружения.

(3) Гибкий выход и стыковка

Выход отчетов Excel / Word / TXT / SPC с диаграммами Mapping, контрольными диаграммами и статистическими значениями CA / PPK / CPK для удовлетворения требований контроля качества.

2 Совместима с передачей SECS / MES, поддерживает индивидуальную стыковку удаленных данных и плавно интегрируется в существующую производственную систему завода.

III. Области применения

ВД4000безграфическая система измерения толщины кристаллической окружностиДля изготовления подложки, изготовления кристаллического круга, испытания технологии упаковки, 3C электронных стеклянных экранов и прецизионных аксессуаров, оптической обработки, панелей дисплея, устройств MEMS и других областей сверхточной обработки.

Нажмите « Консультации» или свяжитесь с нами напрямую, чтобы получить подробные параметры продукта, примеры отраслевых приложений и эксклюзивные предложения, так что геометрическая система WD4000 кристаллической окружности станет вашим производственным качеством, оптимизацией затрат хороший помощник!

Примечание: Параметры продукта могут быть обновлены в режиме реального времени в соответствии с обновлением технологии, в зависимости от последней конфигурации, детали могут быть проконсультированы с клиентской службой для получения полной информации.