Лазерная интерферометрическая технология имеет преимущества высокой чувствительности, большого диапазона и адаптации к суровым условиям, световые волны могут напрямую определять метр и легко прослеживаться. Оптово - волоконная лазерная линейка серии PLR3000, разработанная прибором средней диаграммы, основана на принципе лазерной интерферометрии, Является высокоточным, высокочувствительным, высокоэффективным и быстрым передовым оборудованием для обнаружения местоположения, имеет преимущества в области бесконтактных высокоточных измерений, по сравнению с традиционной стальной лентой или стеклянной решеткой, имеет более точную сетку и более высокое разрешение, в то же время его конструкция изоляции источника тепла обеспечивает более высокую стабильность, в то же время имеет характеристики быстрой установки, простой точности, в микроэлектронике, микрооптике и других современных сверхточных процессах, фотолитографии и аэрокосмической промышленности и широко используется в высокотехнологичных областях.

Волоконно - оптическая лазерная линейка

Волоконно - оптическая лазерная линейка состоит из лазерной пусковой установки, интерферометрического зонда, зеркала и других частей.

1. Лазерные пусковые установки

Лазерная пусковая установка оснащена высокостабильным гелий - неоновым лазерным источником света с точностью стабилизации частоты 0,05 ppm (необязательно 0,02 ppm). Лазерная проводимость через бронированное оптическое волокно к интерферометрическому зонду для достижения изоляции источника тепла от измерительного зонда. Лазерная пусковая установка, встроенная в высокоточную систему обработки сигналов, может напрямую выводить цифровые ортогональные сигналы RS422 и ортогональные аналоговые сигналы с настраиваемым разрешением пользователя в реальном времени, а также может быть вторично разработана с помощью USB - SDK.

2. Интерферометрический зонд

2.1.Дифференциальный интерферометрический (DI) зонд

Дифференциальный интерферометрический зонд выводит два луча лазера (эталонный свет и измерительный свет), которые отражаются через фиксированные плоские зеркала и движущиеся плоские зеркала, соответственно, для достижения оптической четырехкратной частоты с более высоким системным разрешением и меньшими нелинейными ошибками. Особенно подходит для измерения относительного движения между стойкой оси Z и движущейся платформой, устранения ошибок, вызванных тепловым дрейфом внутренней стенки и вибрацией / перемещением колонны, является выбор нанометровой точности.

2.2. Плоскозеркальные интерферометрические (PI) зонды

Плоскозеркальный интерферометрический зонд использует двухлучевую интерферометрическую систему, в сочетании с плоским зеркалом, для достижения оптического четырехкратного частотного разрешения, с более высоким системным разрешением, с использованием двухосной системы, с длинными плоскими зеркалами, особенно подходит для XY платформы управления движением и измерительных приложений. Предлагаются две конфигурации выхода света 0° и 90°.

2.3. Интерферометрический зонд с угловой призмой (RI)

Интерферометрический зонд с угловой призмой, удобный в установке, высокая точность, подходит для одноосных линейных измерений или обратной связи положения, расстояние измерения до 10 метров, может быть настроено на 40 метров, широко используется в позиционировании движения и калибровке оборудования. Предлагаются две конфигурации выхода света 0° и 90°.

Технические характеристики волоконно - оптической лазерной линейки

Высокоточные измерения: линейные измерения с точностью до 0,5 ppm;

Высокая точность стабилизации частоты лазера: стабильность частоты лазера до 0,05 ppm (необязательно 0,02 ppm)

3. Высокое разрешение: внутреннее разрешение до 10 нм, может быть настроено с различными разрешениями, может дополнительно расширить сегмент, чтобы достичь более высокого разрешения.

4. Высокоскоростные измерения: максимальная скорость измерения до 2000 мм / с или более;

Длина измерений: диапазон измерений может достигать более 4 м, может быть настроен на 40 м;

6.Установка проста, легко коллимация: малый размер, гибкая установка, может значительно уменьшить ошибку Аббе; Интерферометрический зонд оснащен устройством регулировки угла, которое легко реализует коррекцию луча;

7. Измерение изоляции источника тепла оптического канала: лазерная пусковая установка отделена от измерительного зонда, который не имеет источника тепла, что позволяет избежать воздействия центрального теплоотвода на измерительный путь;

8. многоканальный выход: может одновременно соединять до трех зондов, легко достигая многоосных одновременных измерений и измерений с несколькими степенями свободы;

9. Интерфейсы выхода разнообразны: интерфейс выхода хоста включает в себя интерфейс USB и интерфейс вывода местоположения, интерфейс вывода местоположения имеет дифференциальный TTL (RS - 422 / EIA - 422), положительный косинусный сигнал (SinCos1Vpp) и USB - SDK.

Проверка применения волоконно - оптической лазерной линейки

Волоконно - оптические лазерные линейки серии PLR3000 прошли проверку точности на нескольких клиентах: высокоточная нано - смещенная станция управляется замкнутым контуром с помощью детектора дифференциальной интерференции (DI), а точность управления положением на наноуровне достигается в любом месте в 10 - миллиметровом ходу.