Передача прямоугольных клапанов
Транспортный прямоугольный клапан - это высокопроизводительный клапан, предназначенный для высоковакуумных или сверхвакуумных систем
Общая схема:: Используя компактную и рациональную конструкцию, все движущиеся элементы расположены на атмосферной стороне, что гарантирует уменьшение образования частиц пыли на стороне вакуума и предотвращение загрязнения вакуумной системы.
приводной механизм:: Обычно используется режим пневматического привода, приводной механизм включает в себя цилиндр, подвижной блок, подвижной вал, ходовой приводной компонент, сильфон и другие компоненты. Посредством впуска и выпуска воздуха из сопла реализуется движение поршня в полости, что, в свою очередь, приводит к перемещению толкателя, подвижного блока и подвижного вала, конечной приводной клапанной пластины, прикрепленной к внутренней стенке корпуса клапана, для достижения открытия и закрытия клапана1А.
уплотняющая конструкция:: Герметичные клапаны корпуса клапана могут быть быстро разобраны, что облегчает замену уплотнительного кольца o - ring. При потере давления обратный клапан на дне клапана гарантирует, что уплотнение клапанной пластины автоматически блокируется, чтобы предотвратить утечку.
Быстрое реагированиеМаксимальное время включения / выключения не превышает 1 с, что позволяет быстро удовлетворить потребности системы в подключении и повысить производительность.
Низкий перепад давленияПри открытии клапана разница давления составляет менее 10 мбар, что эффективно снижает влияние на давление в системе и обеспечивает стабильность системы.
Высокая чистота:: Благодаря расположению движущихся элементов на атмосферной стороне и оптимизации уплотнения уменьшается возможность образования частиц пыли и их попадания в вакуумную систему, что обеспечивает высокую чистоту вакуумной системы.
Хорошая долговечность.:: Материал корпуса клапана может выбрать материал из нержавеющей стали или алюминиевого сплава, поверхность может быть подвергнута электролитической полировке или твердому анодному окислению, обладает сильной коррозионной способностью, может противостоять влажной, кислотно - щелочной и другим суровым экологическим эрозиям.
В основном используется в полупроводниковой, фотоэлектрической промышленности покрытого оборудования, а также между производственной линией, требующей точного управления вакуумным давлением и переходной камерой, системой передачи и технологической камерой
