Причины загрязнения вакуумметром

В основном это следующие моменты:

I. Факторы технологического процесса

Остаточные газы в вакуумной системе: Если вакуумная система не очищается и не накачивается вакуумом до ее использования, остаточные газы могут содержать различные примеси, такие как пары масла, водяной пар, пыль и т.д. Эти примеси при определенных условиях осаждаются на вакуумметр, вызывая загрязнение.

2. Антидиффузия технологических газов: В некоторых вакуумных процессах используемые технологические газы могут при перепаде давления противодействовать диффузии в районе, где находится вакуумметр. Если технологический газ содержит легко конденсируемые или адсорбируемые компоненты, он загрязняет вакуумметр. Например, при использовании фторсодержащих газов фториды могут осаждаться на поверхности вакуумметра.

II. Факторы эксплуатации оборудования

Плохое уплотнение: если место соединения вакуумметра с вакуумной системой плохо герметизировано, внешний воздух и примеси могут попасть в систему, загрязняющий вакуумметр. Например, старение, повреждение или неправильная установка уплотнительной прокладки могут привести к отказу уплотнения.

2. Ненадлежащее обслуживание: при обслуживании и ремонте вакуумной системы, при неправильной эксплуатации может также вводиться загрязнитель. Например, при замене вакуумметра или ремонте не были приняты надлежащие защитные меры, чтобы пыль, жир и другие примеси попали в систему.

III. ЭКОЛОГИЧЕСКИЕ ФАКТОРЫ

Пыль и примеси в воздухе: Даже если вакуумная система герметична, она может быть связана с внешней средой через крошечные каналы утечки. Пыль, водяной пар и другие примеси в воздухе могут постепенно проникать в систему, загрязняя вакуумметр.

Изменения температуры и влажности: Изменения температуры и влажности могут привести к тому, что материал в вакуумной системе выделяет газ или адсорбирует воду, тем самым увеличивая содержание примесей в системе, загрязняя вакуумметр. Например, в среде с большим изменением температуры некоторые материалы могут иметь тепловое расширение и охлаждение, что может нарушить уплотнение и ввести внешние примеси.