Брук.(Пользователи)Оптический контур（интерферометр белого света)Продукты, приложения Введение

I. СОДЕРЖАНИЕПрофиль продукцииА.

Брук.(Пользователи)Это трехмерная программа измерения и обнаружения поверхности * * * *, которая обеспечивает быструю, надежную и простую в использовании бесконтактную трехмерную схему профилирования. Небольшой образец под микроскопическим полем зрения.МЭМССтруктура, от больших до полных механических двигателей. Эти программы обеспечивают чувствительность и стабильность для исследователей и инженеров в области НИОКР, производства и контроля качества в отрасли * *. И это именно то, с чем сталкиваются другие методы измерения при применении тонких трехмерных измерений поверхности.

Оптический контур Брука основан наВико ®Собственные основные технологии, накопленные в течение десяти поколений, обеспечивают высокую точность и стабильность, которые другие измерительные системы не могут себе позволить. Сегодня они становятся основными прикладными сценариями для точных трехмерных измерений поверхности. Доказано, что наши измерительные инструменты поддерживают * * исследования и открытия в лабораториях и производственных средах，Оборудование широко используется в полупроводниковой, оптической и других отраслях промышленностиА.

Оптический контур Брука включает в себя следующие модели: настольные серииКонтурX-100А,X-200А,X-500Серия приземленияКонтурX-1000А,НПФЛЕКС-1000И специально дляПХБДизайн панелейКонтурSPА также для поверхностного анализа в области хранения данных.HD9800+А.

II.Функциональное введениеА.

Трехмерный оптический контур БрукаБесконтактный, высокоточный, адаптивный.，Возможность микроскопического производства для НИОКР, контроля качества и онлайнового производства МЭМССтруктура в целом300 мм* * * Трехмерные решения для измерения поверхности деталей с кристаллической окружностью и более крупными размерами.Основные функции перечислены ниже.

1.Высокоточные измерения поверхности:<0,01 нмРазрешение поверхности,< 0,1%Высота ступенек повторяется.

2.Результаты прослеживаемости, соответствующие стандарту: трехмерный оптический контур Брука, как измерительное устройство, чрезвычайно точно измеряет высоту.

3.Универсальный режим измерения: автоматическое распознавание поверхностных текстур и оптимизация сигналов с учетом субнанометровой точности и высоты больших ступеней.

4.ЭлитаУлучшенная визуализация: обеспечение высокой точности измерений2DОптические изображения.

5.наклон/Оптическая головка тангажа: конкретная модель для достижения наклона боковой головки измеряет и фокусирует положение без изменений, что значительно повышает эффективность тестирования и удобство использования.

6.Эффективное программное обеспечение для анализа: тысячи предустановленных фильтров и сценариев анализа, выход в один кликИСО25178ААСМЕ B46.1и другие стандартные параметры.

7.Автоматическая пакетная обработка: автофокусировка, автоматическое освещение, импорт файлов координат, распознавание рисунков иЭСДЗащищается, реализуется "один клик" пакетных измерений.

8.Режим измерения толщины пленки: расчет толщины пленки путем измерения отраженных сигналов на верхней и нижней поверхностях прозрачной пленки.

III.Введение в приложение:

1.Прецизионная обработка:: Измерительная измерительная система, точное и эффективное измерение качества поверхности точной обработки или трехмерных размеров рисунка микронанообработки, для мониторинга, отслеживания, оценки процесса обеспечивает достаточную обратную связь и отчет, значительно повышает эффективность разработки процесса.

2.Микроэлектромеханические системы и датчики:: Обеспечить высокую пропускную способность и высокую повторяемость измерения глубины травления, толщины мембраны, высоты ступеней и шероховатости поверхности, чтобы обеспечить точную и эффективную гарантию технологического мониторинга.

3.****:: Проведение точных и повторяющихся измерений различных * * * * поверхностей, таких как имплантированные материалы и компоненты, для обеспечения гарантии качества.

4.трение:: Количественное измерение объемного износа, точный анализ и оценка трения, износа, смазки, коррозии материалов/Эффективность и срок службы компонентов.

5.Полупроводники:: Измерение шероховатости, плоскости; Высота выпуклости, общность и выявление и анализ дефектов; А также измерение ключевых трехмерных размеров различных линий, отверстий, мембран и других структур. * * Перепроводка в области упаковки (РДЛ3) Трехмерная компоновка кремниевых перфораций (ТСВМониторинг технологических трехмерных размеров, таких как и несущая пластина.

6 Оптика:: Точные и повторяющиеся измерения поверхности оптических материалов и компонентов, количественная оценка дефектов, чтобы помочь оптимизировать процесс обработки. Например, различные типы оптических плоскостей, контроль качества поверхности поверхности поверхности поверхности, а также автоматическое измерение микронанооптических структур (циклов, глубин и т. Д.) и массивов микролинз (диаметр, кривизна, вектор выше).