В таких высокоточных обрабатывающих отраслях, как полупроводниковое, фотоэлектронное и микронано - производство, ключевые процессы, такие как нанесение клея, проявление и очистка кристаллических кругов, должны быть завершены в контролируемой и чистой среде класса ISO Class1. Любые небольшие возмущения воздушного потока (например, локальные вихри, резкие изменения скорости ветра) или аномальная скорость ветра (слишком высокая или слишком низкая) могут вызвать серьезные проблемы - низкая скорость ветра может привести к несвоевременному удалению загрязняющих веществ в чистых районах и увеличить риск загрязнения поверхности кристаллического круга; Скорость ветра слишком высока, чтобы легко сдувать фоторезистивное покрытие поверхности кристаллического круга, вызывая деформацию или дефект рисунка; Беспорядки воздушного потока также могут мешать точности механической передачи кристаллического круга и даже вызывать сбои в блокировке оборудования, которые в конечном итоге напрямую влияют на качество продукта (что может привести к снижению хорошего коэффициента более чем на 10%) и стабильность процесса.



Таким образом, точный, повторяемый и в режиме реального времени мониторинг скорости ветра внутри полости устройства является одним из основных средств обеспечения технологической согласованности, проверки соответствия производительности оборудования и выявления потенциальных рисков, а экологический тестер 6531 является ключевым оборудованием для удовлетворения этой основной потребности.
Процесс тестирования
Чтобы проверить, соответствует ли состояние воздушного потока в канале передачи кристаллического круга технологическим требованиям, используется высокоточный многопараметрический детектор окружающей среды 6531 для синхронного измерения следующих ключевых параметров.
Условия окружающей среды:
Испытания должны проводиться при постоянной температуре и постоянном давлении, в чистой среде уровня ISOClass1, чтобы избежать обнаружения внешних помех частиц, перед тестом должна быть завершена самоочищение и равновесие системы.



Скорость ветра:
Оборудование для нанесения клея / проявления (машины для нанесения клея, проявители, аэрозольные машины)
Такое оборудование в процессе обработки должно завершить фоторезистное покрытие, распыление проявительной жидкости и другие тонкие операции, толщина фоторезистивного покрытия обычно измеряется на уровне микрон, слишком высокая скорость воздушного потока может привести к образованию волн на поверхности покрытия, накоплению краев и другим дефектам, слишком медленная, чтобы своевременно забрать летучий пар растворителя в процессе нанесения / проявления, легкое загрязнение кристаллического круга. Таким образом, скорость ветра должна строго контролироваться на уровне 0,3 - 1,0 м / с и обеспечивать равномерное распределение потока в поперечном сечении полости.
Очистительное оборудование (машина для удаления клея, монолитная мойка)
При очистке необходимо использовать химические реагенты (серная кислота, фтористоводородная кислота и т. Д.) или распылять коллоиды и примеси под высоким давлением, в процессе которых образуются химические пары и частицы. Недостаточная скорость ветра может легко привести к адгезии загрязняющих веществ, что приводит к непроницаемой очистке di; Высокая скорость ветра может взорвать струю распыления или позволить остаточному реагенту быстро испаряться, чтобы сформировать кристаллическое загрязнение. Таким образом, скорость ветра установлена на уровне 1.0 - 1.5 м / с, как для эффективного удаления загрязняющих веществ, так и для поддержания стабильности потока полости, без помех процессу очистки.
Температура и влажностьА.
Высокая температура снижает вязкость фоторезиста, быстро улетучивает растворитель, влияет на однородность покрытия; Слишком низкий снижает активность очищающего реагента, эффект очистки ухудшается; Слишком высокая влажность приводит к коррозии металлов в оборудовании, электрическому короткому замыканию, слишком низкому образованию статического электричества, адсорбции частиц загрязняющих кристаллический круг. Таким образом, температура должна контролироваться около 25°C, влажность около 50% RH.
перепад давленияА.
Слишком низкое внутреннее давление, внешний пыльный воздух проникает в загрязнение; Высокий уровень может привести к деформации уплотнения полости, аномальному потоку воздуха, влияющему на работу оборудования. Различные требования к перепаду давления оборудования различны: машина для нанесения клея, сильная конфиденциальная герметичность проявления, необходимо стабилизировать воздушный поток, перепад давления обычно 5 - 50 Па; машина для удаления клея, монолитная стиральная машина должна ускорить выход летучих газов, перепад давления 50 - 200 Па. Общий диапазон перепада давления 1 - 200 Па (в зависимости от типа оборудования).
метод испытанияА.
Использование метода точек сетки: согласно стандарту ISO 14644 - 3, наружная поверхность FFU делится на равномерные сетки по меньшей мере 3×3 или 4×4; Центр сетки является точкой отбора проб и содержит ключевые области, такие как нижняя часть вытяжного отверстия высокоэффективного фильтра, угол полости и верхняя часть пути передачи кристаллического круга. Возьмите среднюю скорость ветра в испытательном сечении, чтобы определить, соответствует ли она требованиям.



2. отрегулируйте зонд 6531 так, чтобы он был в направлении исходящего ветра, точка измерения от поверхности выхода FFU от 15 до 30 см (может быть отрегулирована в зависимости от ситуации в станке оборудования).
3. отрегулируйте зонд 6531 до положения центра каждой сетки, рекомендуется время каждого измерения должно быть ≥10 секунд, многократное измерение, взять среднее значение данных о скорости ветра для записи.
4) Завершить тест и провести вычислительный анализ записей собранных данных.
Примечание: Устройство должно поддерживать хорошую герметичность при испытании, чтобы избежать изменения размера и направления потока воздуха из FFU из - за плохого уплотнения полости во время испытания, что влияет на достоверность результатов испытаний.



Тестовый эффект:
Измерения показывают, что детектор окружающей среды 6531 может точно проверить стабильность потока чистого полости, эффективно гарантировать безопасность передачи кристаллического круга в процессе высокой чистоты и технологической согласованности; В то же время его многопараметрический синхронный мониторинг и долгосрочное накопление данных обеспечивают надежную основу для ввода в эксплуатацию, приемки и обслуживания оборудования, что значительно повышает хорошую производительность линии и эффективность работы.
Свойства прибора и его применение
Интеллектуальный детектор окружающей среды 65Ser, скорость ветра, количество ветра, температура, влажность, давление одновременного тестирования, можно ввести форму и размер сечения трубопровода, чтобы рассчитать количество ветра, функция поддержания данных испытаний, статистический расчет (среднее значение, максимальное, минимальное значение), данные хранятся до 20 000, восемь типов зондов доступны для выбора, совместимы с обменом зонда.



Экологический тестер KANOMAX 65Ser широко используется в испытаниях вентиляции, лабораторном контроле, тестировании чистых камер, оценке IAQ, промышленной гигиене, контроле качества и т. Д. Для обеспечения безопасности процесса и качества продукции.