4 сентября 2025 года в Международном выставочном центре озера Тайху в Уси состоялась знаменитая 13 - я выставка материалов и основных компонентов полупроводникового оборудования. Эта ежегодная конференция по полупроводниковому оборудованию, посвященная теме « Сделать сильный китайский сердечник, охватить мир сердечника», собрала производителей полупроводникового оборудования, предприятий по производству датчиков и предприятий вверх и вниз по производственной цепочке, экспертов и ученых из научно - исследовательских институтов, чтобы поделиться последними научными достижениями и практическими примерами применения, совместно изучить, как расширить возможности промышленности посредством технологических инноваций.



На стенде B3 - 328 был показан KANOMAX с измерительными приборами, такими как счетчик частиц пыли, тепловой анемометр, датчик скорости ветра и микродифманометр.









Перед стендом толпа людей, разработчики полупроводниковых материалов, технические руководители завода Fab остановились, чтобы проконсультироваться, персонал Cano терпеливо и подробно представил характеристики производительности прибора, сцены применения, а также на месте, чтобы продемонстрировать продукт, чтобы мы могли интуитивно почувствовать превосходство продукта.





Счетчики частиц используются при производстве полупроводников
В процессе производства полупроводниковых чипов требования к чистоте производственной среды высоки, необходимо запретить короткое замыкание или выключение кристалла из - за частиц пыли, технологического отклонения и других факторов, контролировать количество ультракрошечных частиц на рабочем месте в среде очистки, чтобы обеспечить качество продукции и улучшить качество продукции.



При производстве полупроводниковых чипов счетчики частиц в основном используются для:
1. Проверка процесса изготовления на заводе Fab: использование счетчиков частиц для обнаружения частиц пыли в окружающей среде во многих технологических звеньях, таких как фотолитография кристаллической окружности, клеевое проявление, травление и т.д., для обеспечения точности процесса.
2. Процесс инкапсуляции: счетчик частиц также играет ключевую роль в процессе инкапсуляции с резким кристаллическим кругом для обеспечения качества упаковки.
Мониторинг качества процесса производства полупроводникового оборудования: Контроль технологических точек оборудования с помощью счетчиков частиц для обеспечения стабильности производственного процесса и качества продукции.



Супер - малогабаритный счетчик частиц пыли 3950, специально предназначенный для среды производства полупроводниковых чипов, может точно контролировать микрочастицы 0,1 мкм и 0,3 мкм и имеет преимущества легкости и малого размера, а также может использоваться в качестве датчика, встроенного в производственное оборудование для мониторинга сверхчастиц на рабочем месте в режиме реального времени, обеспечивает надежную основу для оценки чистоты очищенной рабочей среды. С технологией точного обнаружения уровня 0,1 мкм для каждого микроскопического звена, изготовленного « китайским сердечником», была построена линия защиты качества.




анемометр применяется в условиях производства полупроводников
В производстве полупроводников, проявление, коррозия, резка и другие ключевые технологические звенья, скорость ветра окружающей среды (чистая камера и местная скорость ветра внутри оборудования) напрямую влияют на технологическую точность, хорошую скорость и надежность продукта. Разумная скорость ветра может образовывать стабильное « ламинарное / турбулентное поле», которое уводит частицы (например, остатки фоторезиста, побочные продукты травления, режущая пыль), чтобы избежать их прикрепления к поверхности кристаллической окружности, вызывающей дефекты;
В то же время аномальная скорость ветра (слишком высокая / слишком низкая / неравномерная) может непосредственно вызвать потерю хорошей скорости. Например, 5 - процентное колебание скорости ветра в фотолитографическом звене может привести к отклонению ширины линии на 0,03 мкм (допустимое отклонение ширины линии 7 нм составляет всего 0,02 мкм), что непосредственно приводит к отказу чипа.



Устройства для нанесения клея требуют более высокой чистоты производственной среды, особенно во время нанесения и проявления фоторезиста, загрязнение крошечных частиц может привести к дефектам фотолитографии, влияющим на производительность чипа. Необходимо обеспечить чистый воздух через высокоэффективные фильтры вентилятора (FFU), такие как HEPA или ULPA, для эффективного удаления частиц из окружающей среды и обеспечения того, чтобы поверхность кристаллического круга не была загрязнена, что повышает точность фотолитографии и скорость получения.



Экологический тестер KANOMAX 65Ser может точно фиксировать изменения скорости ветра в чистой камере и внутри оборудования, будь то небольшие колебания скорости ветра или локальные различия скорости ветра, измеряя скорость ветра, температуру, влажность, давление, форму и размер сечения входного трубопровода, чтобы рассчитать количество ветра, восемь типов зондов доступны на выбор, благодаря высокой точности, взаимозаменяемости зонда, стабильности, простоте работы и многопараметрическому измерению дисплея и другим характеристикам широко используются в отрасли полупроводникового оборудования.



KANOMAX много лет работает в области полупроводниковых чистых технологий и завоевала доверие и признание многих клиентов. Компания будет продолжать наращивать инвестиции в исследования и разработки, постоянно внедрять конкурентоспособные новые продукты и технологии, удовлетворять постоянно меняющиеся и модернизированные потребности рынка, вносить больший вклад в развитие и прогресс полупроводниковой промышленности.
Спасибо, что посетили стенд Kanomax в Кано, чтобы посетить обмен, завтра замечательно продолжить, давайте вместе станем свидетелями нового пути развития полупроводниковой промышленности!