В процессе производства полупроводниковых чипов зонд может проверять производительность чипа; В лабораториях, где разрабатываются новые материалы, зонд контактирует с поверхностью образца на наноуровне, разблокирует электрические и оптические свойства материала; В биологической лаборатории зонды проникают в клетки с очень быстрыми и тонкими движениями. За этими точными операциями не может быть основного устройства.- Зонд стол.

один、Зонд

Испытательная станция в микромире

В качестве ключевого оборудования для современных микронано - тестов и манипуляций зондовый стол широко используется в таких областях, как обнаружение полупроводников, исследования материалов и биомедицина. Это как операционный стол в микромире, который позволяет исследователям точно манипулировать и измерять наноматериалы, клетки и даже отдельные молекулы.

Проще говоря, основная задача зондового стола заключается в достижении точного выравнивания зонда и образца, стабильного контакта в масштабе от нано до микрон и в сотрудничестве с испытательным прибором для завершения тестирования силы, электричества, света и других характеристик. Будь то проверка эффективности чипов в полупроводниковой промышленности, анализ характеристик новых материалов или калибровка параметров фотоэлектрических устройств, зондовый стол является важным соединительным мостом, он устанавливает канал между макро - испытательным оборудованием и микроскопическими образцами, его точность также напрямую определяет надежность тестовых данных.

Основной принцип зондового стола заключается в том, чтобы с помощью точной механической структуры и технологии управления управлять зондом или образцом для многомерного перемещения и угловой регулировки, чтобы гарантировать, что зонд может точно упасть на испытательную точку образца, сохраняя при этом стабильную контактную силу, чтобы избежать сжатия образца или плохого контакта.

Нано - зонд

Основные области применения и сценарии зондового стола:

1. Полупроводниковая промышленность:Испытания электрических свойств интегральных схем, испытания на кристаллическую окружность и испытания после упаковки.

2. Фотоэлектрическая промышленность:Тестирование фотоэлектрических элементов, напримерLED、 Эффективность фотоэлектрических детекторов и лазеров.

3. Материаловедение:Показывает микроморфологию поверхности материала, такую как дефекты поверхности, размер зерна и так далее; Изучение и тестирование электрических, магнитных, оптических и других свойств материала при различных температурах, а также проверка стабильности и надежности материала.

4. Биомедицинская:- изучение биосовместимости поверхностей биологических материалов; Получение изображений с высоким разрешением биологических молекул, клеток и тканей, анализ и разработка биологических датчиков и т.д.

два、Почему нанотехнологии?

Постепенно становится основным требованием для зондов.

Основываясь на сценариях применения зондового стола, будь то проверка чипов в полупроводниковой промышленности или клеточные эксперименты в области биологических исследований, эти высокоточные области по существу зависят от предельной точности технологии позиционирования и управления зондовым столом. Когда точность работы требует нанометрового или даже субнанометрового уровня, традиционный механический привод уже давно трудно удовлетворить спрос, возможные механические зазоры могут привести к ошибкам, слишком медленный ответ не может быть адаптирован к высокочастотному тестированию, а недостаточная стабильность может повлиять на повторяемость данных.

В это время пьезоэлектрическая нанотехнология позиционирования и управления стала ключом к разрушению: на основе пьезоэлектрического эффекта, через обратный пьезоэлектрический эффект пьезоэлектрического материала, может быть реализовано управление смещением нано - и даже субнанометрового уровня, регулировка угла и динамическая реакция, соответствующая пары зондаОсновные требования « высокой точности, высокой стабильности, быстрого реагирования».

Основные преимущества нанотехнологий:

• Разрешение наноуровня:Требуется точность движения нанометров и ниже.

· Сверхвысокая стабильность:Избегать влияния вибрации на точные операции

· Быстрое реагирование:Скорость отклика в миллисекундах для динамического тестирования.

• Вакуумная совместимость:адаптироватьсяВысокая вакуумная среда для микроскопических устройств, таких как SEM

• Многоосная синергия:Многомерное и сложное управление углом

В - третьих, пьезоэлектрический нанозонд показывает свои таланты

1.Пятнадцатимерный пьезоэлектрический нанозонд: совместный процесс высокоточной пьезоэлектрической технологии

Платформа пьезоэлектрического нанозонда с сердечником завтра состоит из пьезоэлектрической нанолокационной станции, пьезоэлектрической станции смещения двигателя и пьезоэлектрического объектива и структурных компонентов. пьезоэлектрическая нанолокационная станция как платформа для переноса образцов, может обеспечить двумерное высокоточное регулирование смещения; А4 комплекта датчиков, управляемых пьезоэлектрическим моторным смещением, которые могут осуществлять движение с точностью нанометра в трехмерном пространстве XYZ; Позитор пьезоэлектрического объектива регулирует фокусировку на наноуровне в направлении оси Z с помощью точного управления объективом для достижения микроскопического наблюдения с высоким разрешением.

1) Стол образцов

пьезоэлектрическая нанолокационная станция может достичь одноосного или даже многоосного прецизионного движения пьезоэлектрической платформы, диапазон движения до миллиметрового уровня, с небольшим размером, отсутствием трения, быстрой реакцией и другими характеристиками, оснащена высокоточным датчиком, может достичь разрешения наноуровня и точности позиционирования; Конструктивные характеристики высокой жесткости и нулевого зазора гарантируют стабильность и повторяемость работы системы и являются надежной платформой для перевозки образцов.

2) Зонд стол

Стенд сдвига пьезоэлектрического двигателя состоит из пьезоэлектрической керамики в качестве приводного двигателя, спроектированного с использованием специальных механических конструкций для преобразования линейного микросмещения, генерируемого пьезоэлектрической керамикой, в макроскопическое линейное (или угловое) движение механической плоскости с ходом до нескольких десятков миллиметров (или360°). Свойства многократного позиционирования на наноуровне позволяют достичь высокоточного позиционирования зонда. В ответ на потребность зонда в управлении силой действия образца, завтра пьезоэлектрический двигатель смещения сердечника обеспечивает управление движением наноуровня и точный выход силы, обеспечивая точную навигацию по позиционированию для движения зонда.

3) Микроскопическая фокусировка

При работе с микроскопическими образцами, такими как биологические клетки, необходимо одновременно поддерживать четкость наблюдения образца и точность работы зонда, пьезоэлектрический объектив с сердечником завтрашнего дня специально разработан для объектно - фокусной микроскопии, спроектирован с использованием безвозвратного гибкого шарнирного параллельного направляющего механизма, компенсация объектива невелика, имеет сверхвысокую стабильность фокусировки, объектив - локатор загружен в микродетектор/ Измерительные или наблюдательные устройства, с фокусировкой на животных для повышения точности, могут использоваться в сочетании с различными микроскопами с высоким разрешением, могут достигать синергического позиционирования образца с оптической системой на наноуровне.

Изображенная на рисунке панель зонда включает в себя несколько пьезоэлектрических продуктов с сердечником завтрашнего дня, его основная конфигурация включает:S54 Двумерный маятниковый стол, платформа может гибко настраивать параметры в соответствии с фактическими потребностями; Серия N56 Линейный моторный стол смещения, его маршрут имеет широкий диапазон опций, максимальный ход может достигать более 50 мм; Местополучатель пьезоэлектрического объектива, многоходовой необязательный, разрешение до 2,5 нм.

2, 19 - мерный пьезоэлектрический нанозонд стол: интеграция микронаноопераций

Ядро завтра пьезоэлектрический нанозонд стол представляет собой набор пьезоэлектрических нанозондов и нанозондов модулей нанозондов, построенных на пьезоэлектрических моторных платформах смещения, которые могут быть связаны со сканирующим электронным микроскопом (SEM）、 Проницательный электронный микроскоп (TEM) и другие зеркала взаимодействуют для наноопераций. Централизованная площадка для образцов может выполнять трехосное движение XYZ, а четыре набора модулей нанозондов могут выполнять трехмерные прямые движения XYZ и вращение оси R. Можно настроить такие параметры, как габариты, ось движения, ход и скорость нанозонда.