В полупроводниковом производстве, лабораторном анализе, нефтехимической промышленности и других отраслях точное управление давлением газа напрямую связано с технологической стабильностью и качеством продукции.ГР11Серия специальных газовых редукторов из нержавеющей стали благодаря своей высокоточной и высоконадежной конструкции стала основным компонентом системы газоснабжения в этих областях. В этой статье будут всесторонне проанализированы технические преимущества этой серии продуктов с точки зрения структурного дизайна, выбора материала, параметров производительности и типичных сценариев применения.

Одноступенчатая декомпрессионная структура: основная гарантия стабильного выхода

ГР11Серия использует одноступенчатую декомпрессионную конструкцию, благодаря точному сотрудничеству между мембраной и седлом клапана для достижения регулирования давления. Принцип работы: газ высокого давления входит в корпус клапана через воздухозаборник, мембрана в динамическом балансе пружинной силы и давления газа, через изменение открытия сердечника клапана для управления выходным давлением. По сравнению с двухступенчатой конструкцией одноступенчатая конструкция имеет более высокую скорость отклика (0,1Секунда) и более низкие потери давления (5%Особенно подходит для таких сценариев, как коррозия полупроводников, газовая хроматография, чувствительная к колебаниям давления.

Жесткое уплотнение является еще одним ярким пятном этой серии. Контактная поверхность мембраны и матрицы герметизирована металлическим уплотнением, скоординированаPCTFE/PTFE/Vespel®Высокопроизводительный материал седла клапана, в-40℃до74℃Сохранение нулевой утечки в широком диапазоне температур (скорость утечки)≤2×10 ⁻⁸ atm·cc/sec Он) значительно превосходит отраслевые стандарты (как правило,1×10⁻⁶ атм·cc/секВ)). Эта конструкция эффективно предотвращает старение мягкого герметичного материала в среде коррозионных газов и продлевает срок службы оборудования.

Модернизация материалов: двойная гарантия коррозионной стойкости и высокой чистоты

Материал обеспечивает медь и316ЛНержавеющая сталь два варианта. Гальваническая версия (например,ГР11Б(Применяется к общим промышленным газам с более низкой стоимостью;316ЛВерсия из нержавеющей стали (например,GR11SLДля сильно коррозионных газов, таких как хлор, фторид водорода и т.п.ПРЕН)34Стабильные свойства сохраняются в среде, содержащей ионы хлора. Изменить диафрагму на316ЛНержавеющая сталь илиHastelloy® С-276Сплав Харви, последний в650℃Следующие сильные кислоты, такие как серная кислота и соляная кислота, обладают отличной коррозионной стойкостью для удовлетворения сверхчистых газов в полупроводниковой промышленности (например,9НТребования к транспортировке аргона класса.

Материал седла клапана имеет многослойную конструкцию:PCTFEподходит для-200℃до150℃Криогенная среда;ПТФЭДоступно260℃Высокая температура;Очередь воспроизведения ® Тип SP - 1Это учитывает износостойкость и химическую стабильность, увеличение срока службы в высокочастотном сценарии включения и закрытия3В два раза больше. Этот модульный дизайн позволяет пользователям гибко выбирать компоненты в соответствии с характеристиками газа.

III. Основные параметры производительности: технология точного управления

Диапазон давления: Покрытие входным давлением500-4000 псиг(34,5-276бар), выходное давление0-500псиг(0-34,5 бар) Можно настроить, удовлетворить небольшой трафик из лаборатории (0.1SCFHБольшой промышленный поток (1000СЛМ) Спрос.

Свойства потока:ЦВзначение0.14(ГР11Б) До0.28(GR11SL) Регулируемый, кривая падения давления потока плоская, в50% - 100%Колебания выходного давления в пределах расхода±1%А.

Дизайн безопасности: давление безопасности устанавливается как1.5Максимальное входное давление (например,6000псигОборудована двойной защитой от осколков и механических предохранительных клапанов. При нажатииВзрывная пластина при превышении предела силыв0.001Разрыв и сброс давления в течение секунды, чтобы избежать повреждения оборудования.

Точность фильтрации: встроенная10мкм 316лФильтр из нержавеющей стали, который можно перехватить99,97%的0,3 мкмВышеуказанные частицы обеспечивают чистоту газа в соответствии с требованиями полупроводниковой промышленности5НУровень (99.999%В)).

4 Типичный сценарий применения

1. полупроводниковый процесс

2. Лаборатория

3. Газовый анализ

4. Испытательные приборы

5. Нефтехимическая промышленность

6. Оборудование электростанцииТруд